Графитовые изоляционные и направляющие кольца из графита -нестандартного размера для высокотемпературных-вакуумных печей являются ключевыми прецизионными компонентами основной тепловой системы в-высокотехнологичных областях, таких как фотоэлектрическая энергетика, полупроводники и производство кристаллического кремния. Они специально разработаны с учетом строгих требований японских и корейских производителей фотоэлектрического и полупроводникового оборудования в отношении максимальной точности контроля температуры, высокой-чистоты окружающей среды и эффективного направленного теплового потока.
Данное изделие изготовлено из изостатического графита сверх-высокой-чистоты с чистотой более 99,99 %. Он обрабатывается с помощью пяти-осевой технологии ЧПУ для достижения микронной-точности настройки и подходит для экстремально высоких-температурных условий вакуума в диапазоне от 1600 до 2000 градусов. Он широко используется в основном оборудовании, таком как печи для монокристаллов CZ, печи для слитков поликристаллического кремния, печи для зонной плавки монокристаллов кремния и современные печи для спекания керамики.
Ключевые моменты процесса подготовки керна
Выбор сырья. Основные компоненты производятся с использованием изостатического графита сверх-высокой чистоты более 99,99 %. Изостатический графит демонстрирует превосходные физико-механические свойства во всех направлениях, обеспечивая структурную стабильность и точность размеров деталей колец в условиях высоких температур и сложных термических напряжений. Для некоторых специальных применений можно использовать графит ядерного качества чистотой 99,995% или даже 99,999%.
Теплоизоляционное кольцо
В системе теплового поля вакуумной печи графитовое теплоизоляционное кольцо использует свою низкую теплопроводность (при высоких температурах теплопроводность графита намного ниже, чем у металлов) и высокую отражательную способность (специально обработанная поверхность графита может отражать большую часть инфракрасного теплового излучения), эффективно блокируя передачу тепла из зоны с высокой-температурой в зону с низкой-температурой, тем самым образуя стабильный и контролируемый осевой градиент температуры внутри печи. Это имеет решающее значение для роста кристаллов (например, монокристаллического кремния), поскольку стабильный градиент температуры является ключом к обеспечению качества кристаллов и скорости роста.
Направляющее кольцо потока: графитовое направляющее кольцо потока через точно спроектированные каналы потока или конструкцию лопаток направляет защитный газ (например, аргон) в печь по определенному пути. Этот направленный поток может оптимизировать распределение теплового поля, позволяя более равномерно передавать тепло материалам; в то же время текущий газ может также удалять примеси и летучие вещества, образующиеся во время роста кристаллов, тем самым улучшая чистоту и качество конечного продукта (например, слитков монокристаллического кремния).
Направляющее кольцо потока
Направляющее графитовое кольцо через точно спроектированные проточные каналы или конструкцию лопаток направляет защитный газ (например, аргон) в печь по определенному пути. Этот направленный поток может оптимизировать распределение теплового поля, позволяя более равномерно передавать тепло материалам; в то же время текущий газ может также удалять примеси и летучие вещества, образующиеся во время роста кристаллов, тем самым улучшая чистоту и качество конечного продукта (например, слитков монокристаллического кремния).
Почему выбирают нас
1. Мы производим исходный-графит под давлением самостоятельно-на собственном производстве, что обеспечивает стабильные и контролируемые свойства материала.
2. Развитые индивидуальные возможности проектирования и обработки, точно адаптирующиеся к системе отопления клиента.
3. Строгая система контроля качества гарантирует качество и надежность продукции.
4. Быстрый ответ и доставка для удовлетворения требований клиентов к исследованиям, разработкам и массовому производству.
5. Эксклюзивная зарубежная техническая команда, местное обслуживание и поддержка.
| Параметр | Единица | Графитовое изоляционное кольцо (модель: GIR-9999) | Графитовое направляющее кольцо потока (модель: GFR-9999) | Интегрированное кольцо (модель: GIRF-99995) | Метод испытания |
|---|---|---|---|---|---|
| Основные свойства | |||||
| Содержание углерода | % | Больше или равно 99,99 | Больше или равно 99,99 | Больше или равно 99,995 | ГБ/Т 3521-2008 |
| Содержание пепла | ppm | Меньше или равно 50 | Меньше или равно 50 | Меньше или равно 30 | ICP-МС-обнаружение |
| Плотность | г/см³ | 1.85-1.90 | 1.85-1.90 | 1.88-1.93 | Метод Архимеда |
| Пористость | % | Меньше или равно 10 | Меньше или равно 10 | Меньше или равно 8 | Вторжение Меркурия |
| Термические свойства | |||||
| Максимальная рабочая температура | степень | 2000 | 2000 | 2200 | Термический анализ |
| Теплопроводность (при 1000 градусов) | W/(m·K) | 80-120 | 80-120 | 90-130 | Метод лазерной вспышки |
| Коэффициент теплового расширения (25-1000 градусов) | 10⁻⁶/градус | 2.5-3.0 | 2.5-3.0 | 2.4-2.8 | Дилатометр |
| Устойчивость к термическому удару (RT ↔ 1500 градусов) | Циклы | Больше или равно 50 | Больше или равно 50 | Больше или равно 60 | Чередование холодного и горячего теста |
| Механические свойства | |||||
| Прочность на изгиб (при 25 градусах) | МПа | Больше или равно 40 | Больше или равно 40 | Больше или равно 45 | Трех-точечный изгиб |
| Прочность на сжатие (при 25 градусах) | МПа | Больше или равно 120 | Больше или равно 120 | Больше или равно 130 | Одноосное сжатие |
| Твердость по Шору | - | 60-70 | 60-70 | 65-75 | Твердомер по Шору D |
| Габаритные характеристики | |||||
| Типичный диапазон размеров (ВД×НД×В) | мм | Настраиваемый (например, 200×300×50) | Настраиваемый (например, 150×250×40) | Настраиваемый (например, 250×350×60) | Координатно-измерительная машина |
| Размерный допуск | мм | ±0.02 | ±0.02 | ±0.01 | Координатно-измерительная машина |
| Шероховатость поверхности (Ra) | μm | Меньше или равно 0,8 | Меньше или равно 0,8 | Меньше или равно 0,6 | Профилометр |
| Операционные показатели | |||||
| Равномерность температуры | степень | Меньше или равно ±3 | Меньше или равно ±3 | Меньше или равно ±2 | Измерение термопары |
| Расчетный срок службы | Циклы | Больше или равно 500 | Больше или равно 500 | Больше или равно 600 | Промышленные полевые испытания |
| Упаковка | |||||
| Стандартная упаковка | шт/коробка | 1 | 1 | 1 | - |
| Упаковочный материал | - | Вакуумный мешок + противоударная-пена + деревянный ящик | Вакуумный мешок + противоударная-пена + деревянный ящик | Вакуумный мешок + противоударная-пена + деревянный ящик | - |
горячая этикетка : графитовое кольцо на заказ для вакуумной печи, графитовое кольцо на заказ для вакуумной печи производители, поставщики, завод в Китае, Уплотнительные кольца из углеродного графита, Графофильный уплотнительный кольцо, графитовые уплотнительные кольца для сальников, Графитовое мужское кольцо, графитовое уплотнительное кольцо, графитовое кольцо
